22PROC010256428
ΙΔΡΥΜΑ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑΣ ΚΑΙ ΕΡΕΥΝΑΣ (ΙΤΕ) / ΙΝΣΤΙΤΟΥΤΟ ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗΣ ΔΟΜΗΣ ΚΑΙ ΛΕΙΖΕΡ (ΙΗΔΛ)
σύστημα προβολής μικρο εικόνας με υπεριώδη ακτινοβολία
σύστημα προβολής μικρο εικόνας με υπεριώδη ακτινοβολία για την δημιουργία και λειτουργία ενός συστήματος λιθογραφίας χωρίς την χρήση και αγορά οπτικών μασκών προβολής.
ΙΔΡΥΜΑ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑΣ ΚΑΙ ΕΡΕΥΝΑΣ (ΙΤΕ) / ΙΝΣΤΙΤΟΥΤΟ ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗΣ ΔΟΜΗΣ ΚΑΙ ΛΕΙΖΕΡ (ΙΗΔΛ)
σύστημα προβολής μικρο εικόνας με υπεριώδη ακτινοβολία
σύστημα προβολής μικρο εικόνας με υπεριώδη ακτινοβολία για την δημιουργία και λειτουργία ενός συστήματος λιθογραφίας χωρίς την χρήση και αγορά οπτικών μασκών προβολής.